top of page

RSIC Wafer Boat

탄화규소 크리스탈 보트는 웨이퍼 확산 공정의 이송 및 지지 도구로 사용되며, 반도체 단결정 실리콘 웨이퍼 생산 라인의 주요 소모품입니다. 주로 탄화규소 소재로 만들어졌으며, 고온 저항, 화학적 부식 저항, 우수한 열적 안정성을 가지고 있습니다. 탄화규소 크리스탈 보트는 태양광 셀 및 반도체 웨이퍼의 생산 공정에서 널리 사용되며, 고온 확산로에서 중요한 세라믹 부품이자 웨이퍼의 주요 전송 구성 요소입니다. 또한 내마모성, 크리프 저항성, 충격 저항성, 긴 수명 등의 특징을 가지고 있습니다.​

Slicon Carbide Wafer Boat_edited_edited.jpg

RSIC Wafer Boat holder 

재결정 탄화규소 웨이퍼 보트 캐리어는 칩을 운반하고 운송하는 데 사용되는 트레이로, 반도체, 태양광 에너지, LED와 같은 분야에서 널리 사용됩니다. 재결정 탄화규소 웨이퍼 보트 캐리어는 첨단 세라믹 소재로 제작되었으며, 높은 치수 정확성을 가지고 있어 운송 및 처리 과정에서 칩의 안전성과 안정성을 보장합니다.

RSIC wafer boat holder_edited_edited.jpg

RSIC Wafer Boat

탄화규소 웨이퍼 보트의 장점:

  1. 당사의 탄화규소 웨이퍼 보트는 내마모성, 크리프 저항성, 충격 저항성, 긴 수명 등의 특징을 가지고 있습니다.

  2. 당사의 RSiC 크리스탈 보트의 최대 사용 온도는 1650℃입니다.

  3. 당사의 SiC 웨이퍼 보트의 순도는 99.9% 이상입니다.

IMG_6065.HEIC
bottom of page